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吸附墊的應用

文章出處:未知責任編輯:未知人氣: 0 發(fā)表時間:2019-05-27 11:05【

吸附墊,主要用于半導體硅晶體材料,寶石晶體片,硅片外延片等產(chǎn)品的單面拋光,屬于電子材料 的拋光裝置。這是一種圓形的、由多層樹脂材料組成的復合結(jié)構(gòu)、硅片用水(或研磨液)粘貼在鑲嵌層圓孔內(nèi)的吸附膜上。采用本實用新型,可對硅片,藍寶石進行無蠟拋光,其表面總厚度變化小于6μm,省時、省力,本實用新型制造簡單、成本低。
無蠟拋光模板在化學機械拋光製程中用于對晶片的固定;無蠟工藝在加工成本、生產(chǎn)效率都較有蠟工藝有更大的優(yōu)勢。長期以來,新光速致力于研發(fā)新的工藝技術,生產(chǎn)新型行業(yè)使用的材料,降低客戶的生產(chǎn)成本,無蠟墊作為新光速主推產(chǎn)品,為客戶節(jié)約了大量 的采購成本,目前新光速提供的無蠟拋光墊是國內(nèi)少有的可以與國外產(chǎn)品競爭的產(chǎn)品,藍寶石襯底拋光是一個成熟的產(chǎn)業(yè),受制于昂貴的無蠟墊等各類耗材成本,而價格高企,而目前許多數(shù)客戶都已開始使用新光速提供的無蠟墊,節(jié)約了采購成本和產(chǎn)品成本,不再受制于國外廠商,新光速所生產(chǎn)銷售的無蠟模板可以根據(jù)客戶拋盤大小定製;新型無蠟拋光模板采用高硬度模板框架,在藍寶石晶片拋光應用的競爭力超越其他廠家的模板

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