9孩岁女精品╳片,国产一区二区三精品久久久无广告,国产精品无码永久免费888,国内精品国产三级国产av

您好,歡迎來到昆山新光速光電科技有限公司官網(wǎng)!

在線留言 收藏網(wǎng)站 網(wǎng)站地圖 聯(lián)系方式

新光速光電服務(wù)熱線:18068053963

您是否在搜: 喇叭網(wǎng) 表殼拋光

服務(wù)項目
當(dāng)前位置:新聞資訊 > 新聞動態(tài) >

藍寶石化學(xué)機械拋光液作用研究

文章出處:未知責(zé)任編輯:未知人氣: 0 發(fā)表時間:2019-01-11 10:03【
光電子領(lǐng)域是 21 世紀最具發(fā)展前景的高科技領(lǐng)域之一, 其中, 發(fā)光二級管 (LED) 憑借其低工作電壓、 低功耗、高效率、長壽命、固體化、快響應(yīng)速度以及驅(qū)動電路簡單等優(yōu)點, 成為相當(dāng)重要的半導(dǎo)體電子元件。 目前, 藍寶石基片是 LED 工業(yè)的首選襯底, 藍寶石表面的質(zhì)量對 LED 器件的質(zhì)量和性能有著非常重要的 影響。因此, 在生產(chǎn)藍寶石基片時, 對最后一道拋光加工工序有很高的要求, 要求藍寶石基片的表面超光滑、 無缺陷, 且粗糙度 Ra 小于 0.2 nm, 這也成為了藍寶石襯底最重要的制程。但是, 由于藍寶石晶體材料硬度 高、脆性大、有化學(xué)惰性, 屬于典型的極難加工材料之一, 因此, 如何讓拋光加工滿足日益嚴格的要求, 長期 以來倍受關(guān)注 [1]。如今化學(xué)機械拋光 (CMP) 是惟一可實現(xiàn)全局平坦化的拋光方法, 而且由于其成本相對較 低等優(yōu)點, 也是迄今為止惟一可以在藍寶石生產(chǎn)中大規(guī)模應(yīng)用的拋光方法。硅溶膠為納米級的二氧化硅顆粒 在水中或溶劑中的分散液, 屬于膠體溶液, 無臭、無毒, 由于它價格低廉、分散穩(wěn)定性好、具有一定的拋光性 能且拋光后缺陷低, 廣泛應(yīng)用于集成電路 (IC) 化學(xué)機械拋光液中, 其中藍寶石基片化學(xué)機械拋光液所用磨 料即為硅溶膠。

   近年來, 國內(nèi)外對藍寶石拋光液的研究取得了較大的進展, 多款商業(yè)硅溶膠及拋光液已得到了廣泛應(yīng) 用, 并對其作用機制開展了相關(guān)研究。美國新澤西州立大學(xué) Honglin Zhu 等人 [3] 研究了水相介質(zhì)對藍寶石 拋光的重要性, 提出在以氧化鋁為磨料的拋光過程中, 藍寶石表面會形成一層硬度較小、易于去除的水化層, 從而促進了去除速率, 保證了表面質(zhì)量。烏克蘭國家科學(xué)院 E.A. Vovk 等人 [4] 利用 X 射線光電子能譜分析 (XPS) 對藍寶石基片進行表面元素分析以及深度分析, 推測出被二氧化硅拋光過的藍寶石基片表面會生成 硅鋁化合物, 該化合物為 Al2SiO5, 是由二氧化硅與離子形式的 Al 元素反應(yīng)得到的, 并給出了反應(yīng)方程式。 盡管如此, 目前藍寶石的 CMP 拋光機理尚不明確。

 

 

下一篇:研磨拋光中工件表面劃痕的定義上一篇:沒有了
此文關(guān)鍵字:藍寶石,化學(xué),機械,拋光,液,作用,研究,光電子,
久久午夜无码鲁丝片秋霞| 三级成人午夜电影网在线网页| 亚洲日韩亚洲另类激情文学| 日本熟妇色一本在线观看| 精品久久久久久无码人妻VR| 午夜欧美理论2019理论| 久久久久人妻一区精品色欧美| 久久久久无码专区亚洲av| 亚洲综合无码一区二区痴汉| 久久精品国产亚洲av麻豆色欲| 国产成人综合怡春院精品| 亚洲精品第一国产综合境外资源| 免费精品99久久国产综合精品| 国产玩具酱一区二区三区| 国内精品久久久久伊人AV| 我把护士日出水了视频90分钟| 人妻夜夜爽天天爽一区| 国产三级精品三级| 强开少妇嫩苞又嫩又紧九色| 久久久久久久精品免费| 五月综合色婷婷在线观看| 亚洲色欲一区二区三区在线观看| 精品人妻一区二区三区| 国产日产欧产精品精品推荐免费| 色欲色香天天天综合vvv| 亚洲乱码日产精品BD| 两性色午夜视频免费播放| 性少妇中国内射xxxx狠干| 久久婷婷色香五月综合缴缴情| 欧美大黑帍在线播放| 18禁裸乳无遮挡免费观看| 国产精品午夜爆乳美女视频| 无码日韩做暖暖大全免费不卡| 国产白嫩漂亮美女在线观看| 日韩免费无砖专区2020狼| 欧美人与人动人物2020| 亚洲A成人无码网站在线| 午夜精品一区二区三区免费视频| 国产真实露脸多P视频播放| 中文文字乱码一二三四| 暖暖在线视频成人日本二区|